電子集成電路廠(chǎng)潔凈室的污染源

現今不少電子高新科技領(lǐng)域對集成電路的需求量十分大，同時(shí)對大規模集成電路的設計生產(chǎn)、封裝環(huán)節要求越來(lái)越高。這也意味著(zhù)對電子潔凈室的要求越來(lái)越高。那么，在日常工作中，容易對電子集成電路廠(chǎng)潔凈室造成污染的源頭有哪些呢？

一、電子集成電路廠(chǎng)潔凈室的污染源--電磁噪聲
電子集成電路潔凈室是通過(guò)大電流氧化爐等設備的電纜和反復控制通斷的電磁開(kāi)關(guān)，高頻振蕩等產(chǎn)生電磁噪聲的，電磁噪聲會(huì )影響電子束掃描設備的掃描精度，其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。

二、電子集成電路廠(chǎng)潔凈室的污染源--振動(dòng)
潔凈室設備內的真空泵電機工作時(shí)會(huì )把振動(dòng)經(jīng)地板傳遞到微細加工設備和顯微鏡等精密設備儀器上，進(jìn)而影響它們的工作精度。潔凈室應在振源和怕受振動(dòng)的設備下安裝空氣彈簧減震器，以達到衰減振動(dòng)的目的。

三、電子集成電路廠(chǎng)潔凈室的污染源--生銹
當潔凈室酸用通風(fēng)罩局部排風(fēng)量不足時(shí)，酸霧氣擴散于潔凈室內，腐蝕室內設備的金屬部分，造成污染；潔凈室不銹鋼裸露在含lu氣的空氣中，也會(huì )受腐蝕生銹。處理酸的有效的方法是采用密閉通風(fēng)罩，保證足夠的局部排風(fēng)量。

電子集成電路廠(chǎng)潔凈室的污染源除了上述幾點(diǎn)，還包括潔凈室器材和設備的搬出和大修施工時(shí)造成的污染。這些污染不只是由于人的移動(dòng)造成的，設備移動(dòng)也會(huì )揚起已落在地板表面和器材上的塵埃。尤其是更換設備時(shí)養護地板，搬進(jìn)小工具或很多搬運工進(jìn)出潔凈室，都會(huì )導致室內的懸浮塵埃量比平時(shí)多。

  對于電子集成電路廠(chǎng)潔凈室的污染源你們還有什么看法呢？